Herstellung von Vertikalrandstrukturen für Leistungshalbleiterbauelemente mit Hilfe von nasschemischen anisotropen Siliziumätzprozessen / von Dipl.-Ing. Andre Brockmeier ; Erster Gutachter: Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann, Zweiter Gutachter: Prof. Dr.-Ing. Holger Vogt. Paderborn, 2018

Inhalt

An dieser Stelle stehen noch keine Inhalte zur Verfügung