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Titelaufnahme

Titel
A new X-ray diffractometer for the online monitoring of epitaxial processes / von Alexander Kharchenko
AutorKharchenko, Alexander In der Gemeinsamen Normdatei der DNB nachschlagen
Erschienen2003
HochschulschriftPaderborn, Univ., Diss., 2003
SpracheEnglisch
DokumenttypDissertation
Schlagwörter (GND)Röntgendiffraktometer / In situ / Verbindungshalbleiter / Epitaxieschicht / MOCVD-Verfahren
URNurn:nbn:de:hbz:466-20030101154 Persistent Identifier (URN)
Dateien
A new X-ray diffractometer for the online monitoring of epitaxial processes [13.76 mb]
zusfasng [18.97 kb]
abstract [18.19 kb]
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