Go to page
 

Bibliographic Metadata

Title
Entwurf eines Rotationssensors in dreischichtiger, CMOS-kompatibler Silizium-Oberflächen-Mikromechanik / von Philipp Wilhelm Sasse
AuthorSasse, Philipp Wilhelm
Published2002
Institutional NotePaderborn, Univ., Diss., 2002
LanguageGerman
Document TypesDissertation (PhD)
Keywords (GND)Rotationssensor / Entwurf / Mikromechanik / Oberflächenmontage / CMOS / Siliciumbauelement
URNurn:nbn:de:hbz:466-20020101255 
Files
Entwurf eines Rotationssensors in dreischichtiger, CMOS-kompatibler Silizium-Oberflächen-Mikromechanik [1.19 mb]zusfasng [24.4 kb]abstract [21.69 kb]
Links
Reference
Classification