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Titelaufnahme

Titel
Low pressure chemical vapor deposition of silicon nitride and silicon oxynitride layers and their application in optical waveguide based chemical sensors / Ahmed Tamim
AutorTamim, Ahmed In der Gemeinsamen Normdatei der DNB nachschlagen
Erschienen2007
HochschulschriftPaderborn, Univ., Diss., 2007
SpracheEnglisch
DokumenttypDissertation
URNurn:nbn:de:hbz:466-2007091835 Persistent Identifier (URN)
Dateien
Low pressure chemical vapor deposition of silicon nitride and silicon oxynitride layers and their application in optical waveguide based chemical sensors [3.32 mb]zusfasng [15.45 kb]abstract [15.3 kb]
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