Integrationstechniken für organische Dünnschichttransistoren in der flexiblen Elektronik / von Thorsten Meyers, M.Sc. ; Erster Gutachter: Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann, Zweiter Gutachter: Prof. Dr. rer. nat. Jörg K. N. Lindner. Paderborn, 2021
Inhalt
- Kurzzusammenfassung
- Eidesstattliche Erklärung
- Danksagung
- Inhaltsverzeichnis
- Einleitung
- Grundlagen organischer Halbleiter
- Elektronische Eigenschaften individueller Moleküle
- Ladungstransport in organischen Festkörpern
- Thieno[3,2-b]thiophen Derivate
- Theorie der Dünnschichttransistoren
- Aufbau
- Funktionsweise und Betriebsbereiche
- Metall-Halbleiter-Grenzfläche
- Austrittsarbeit von realen metallischen Elektroden
- Gate-Dielektrikum
- Abweichungen vom idealen Transistorverhalten
- Parameterextraktion
- Grundlegende Methodiken
- Dünnschichtparameter
- Deposition und Strukturierung metallischer Elektroden
- Deposition von organischen Halbleitern
- Dünnschichttransistoren und Schaltungen mit inoflex T3
- Deposition und Charakterisierung von inoflex T3
- Integrationsroutine für organische Dünnschichttransistoren
- Dünnschichttransistoren mit C8-BTBT
- Selbstjustierte Dünnschichttransistoren
- Strukturierung des aktiven Transistorbereichs
- Modifikation der Austrittsarbeit metallischer Elektroden
- Foliensubstrate
- Einfluss der Gate-Strukturhöhe
- Schaltungen
- Dünnschichttransistoren und Schaltungen mit SX AR-PC-5060
- Deposition und Charakterisierung des Polymers SX AR-PC-5060
- Einzeltransistoren und statische Charakterisierung von Invertern
- Planarisierung und dynamische Charakterisierung von Invertern
- Weitere experimentelle Untersuchungen
- Zusammenfassung
- Literaturverzeichnis
- Formelzeichen und Abkürzungen
- Anhang
- Publikationen