Modifizierte Mikrodiskresonatoren mit Siliziumnanokristallen als aktives Medium / vorgelegt von Ronja Köthemann ; Gutachter: Prof. Dr. Cedrik Meier und Prof. Dr. Jörg K. N. Lindner. Paderborn, 2023
Inhalt
- Inhaltsverzeichnis
- 1 Einleitung
- 2 Physikalische Grundlagen
- 2.1 Silizium
- 2.2 Siliziumnanokristalle
- 2.3 Optische Resonatoren
- 2.4 Eindimensionale photonische Kristalle
- 2.5 Plasmonische Goldnanoantennen
- 3 Herstellungs- und Messmethoden
- 3.1 Elektronenstrahllithografie
- 3.2 Elektronenstrahlverdampfen
- 3.3 Reaktives Ionenätzen
- 3.4 Photolumineszenz-Spektroskopie
- 3.5 Fourier-Transformations-Infrarotspektroskopie
- 4 Herstellungsoptimierung von Mikrodiskstrukturen
- 4.1 Herstellung der Siliziumnanokristalle
- 4.2 Optimierung der Lithografiemaske
- 4.3 Herstellung der Hybridstrukturen
- 4.4 Realisierbare Lochgrößen
- 5 Hybridstrukturen
- 6 Eingebettete plasmonische Nanoantennen
- 6.1 Herstellung
- 6.2 Theoretische Vorbetrachtungen
- 6.3 Resonanzverhalten der Nanoantennen
- 6.4 Manipulation der Nanokristall-Photolumineszenz
- 6.5 Zusammenfassung
- 7 Plasmonisch-photonische Hybridstrukturen
- 8 Zusammenfassung und Ausblick
- Literatur
- Abbildungsverzeichnis
- Publikationsliste
- Danksagung