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Zinkoxid-basierte photonische Kristallmembranen
Anhang
C Probenherstellung
C.3 Elektronenstrahllithografie
Nachträgliches Exponieren mit dem Elektronenstrahl:
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Dissertation
Zinkoxid-basierte photonische Kristallmembranen / von M. Sc. Sandro Phil Hoffmann
Entstehung
Paderborn
2018
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