TY - THES AB - Flexible und transparente elektronische Schaltungen ermöglichen eine Integration von innovativen und kostengünstigen Produkten in einem breiten Anwendungsspektrum, z. B. von flexiblen und transparenten Displays für tragbare Elektronikprodukte bis hin zu RFID Funketiketten, entwickelt für Sensornetzwerke im Bereich des Gesundheitssektors. Hierbei sind Dünnschichttransistoren (TFTs) die Schlüsselelemente zur Steuerung des Stromflusses in den Bauelementen. Ferner erscheinen hybride Systeme, zum einen aus hochfrequenten Siliziumtransistoren für die Datenverarbeitung, zum anderen aus Dünnschichttransistoren zur Erhöhung der Interaktivität mit dem Nutzer, profitabel, da sie in Synergie die Vorteile beider Technologiezweige vereinen. Während dieser Arbeit wurden TFTs auf ZnO-Basis für die flexible und transparente Elektronik integriert und charakterisiert. Der Herstellungsprozess war auf kostengünstige Methoden, die eine Kompatibilität mit großflächigen flexiblen Substraten aufweisen, beschränkt. Aus diesem Grund wurden hauptsächlich lösungsmittelbasierende Verfahren verwendet. Für den aktiven Halbleiter wurden Präkursoren und Dispersionen, die ZnONanostrukturen enthalten, bewertet. Hierbei zeigten die Dispersionen neben ihrer besseren Kompatibilität mit den Integrationsprozessen eine höhere Leistungsfähigkeit und Beständigkeit. Als Gate-Dielektrikum wurden Poly(4-vinylphenol) sowie ein high-k Nanokompositlack eingesetzt. Die TFTs wurden sowohl im inverted staggered als auch im inverted coplanar Aufbau strukturiert. Einerseits weisen die inverted staggered Strukturen eine größere Kontaktfläche zwischen den Drain/Source Elektroden und der aktiven Halbeiterschicht und damit eine verbesserte Ladungsträgerinjektion auf. AU - Vidor, Fábio Fedrizzi CY - Paderborn DA - 2017 DO - 10.17619/UNIPB/1-37 DP - Universität Paderborn LA - eng N1 - Tag der Verteidigung: 07.03.2017 N1 - Universität Paderborn, Univ., Dissertation, 2017 PB - Veröffentlichungen der Universität PY - 2017 SP - 1 Online-Ressource (XVI, 242 Seiten) T2 - Institut für Elektrotechnik und Informationstechnik TI - ZnO thin-film transistors for cost-efficient flexible electronics UR - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:hbz:466:2-27816 Y2 - 2026-01-21T16:16:44 ER -