TY  - THES
AB  - Das Ziel dieser Arbeit war die Herstellung photonischer Kristallmembranen aus Zinkoxid (ZnO) mit maßgeschneiderten optischen Eigenschaften, mit denen die spontane Emission nahe der elektronischen Bandkante von ZnO verstärkt werden kann. Dabei handelt es sich um Strukturen, die einen 3D Lichteinschluss aufgrund eines Brechungsindexkontrasts in vertikaler Richtung und einer photonischen Bandlücke (PBG) durch eine periodische Modulation des Brechungsindex in lateraler Richtung erzeugen. [...]Für eine bestmögliche Qualität der ZnO-Schichten wurden diese mittels plasmaunterstützter Molekularstrahlepitaxie gewachsen. [...] Hier konnte ein Trockenätzprozess entwickelt werden, der ein selektives Ätzen des Si-Substrats ermöglicht. Um eine möglichst hochenergetische Photolumineszenz (PL) zu erzielen, wurde zudem die Qualität der ZnO-Schicht durch Optimierungen des Wachstumsprozesses auf amorphem Siliziumdioxid gesteigert, wodurch die Defektlumineszenz im PL-Spektrum deutlich verringert werden konnte.Die Strukturierung erfolgte durch hochauflösende Elektronenstrahllithografie mit anschließendem reaktiven Ionenätzen [...].Die optischen Charakterisierungen mittels PL-Spektroskopie zeigen einen [...] höchste Gütefaktor von Q = 472. [...] Es konnte eine maßgeschneiderte UV-Emission erzielt werden, die neben einer feinen Verschiebung der Hauptemission (10 meV) auch eine Verstärkung der spontanen Emission in der Nähe der elektronischen Bandlücke um den Faktor 5,3 ermöglicht. Insgesamt ist dadurch eine solide Basis für den zukünftigen Einsatz von ZnO-basierten PhC-Membranen als NIR-getriebene UV-Quellen in integrierten optischen Schaltkreisen geschaffen.
AU  - Hoffmann, Sandro Phil
CY  - Paderborn
DA  - 2018
DO  - 10.17619/UNIPB/1-489
DP  - Universität Paderborn
LA  - ger
N1  - Tag der Verteidigung: 19.12.2018
N1  - Universität Paderborn, Dissertation, 2018
PB  - Veröffentlichungen der Universität
PY  - 2018
SP  - 1 Online-Ressource (ii, 184 Seiten)
T2  - Department Physik
TI  - Zinkoxid-basierte photonische Kristallmembranen
TT  - Zinc-oxide-based photonic crystal membranes
UR  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:hbz:466:2-32472
Y2  - 2025-01-15T04:18:01
ER  -