TY  - THES
AB  - Halbleiter-Quantenpunkte haben sich als eine vielversprechende Plattform für deterministische Photonenquellen erwiesen. Besonders GaAs/Al(x)Ga(1-x)As-Quantenpunkte, die epitaktisch mittels der Lokalen Tröpfchen-Ätzen-Methode hergestellt werden, gelten derzeit als der Goldstandard für die Erzeugung von polarisationsverschränkten Photonenpaaren. Hierbei werden nanometergroße Löcher in Halbleiterschichten durch Tröpfchenätzung generiert, die anschließend gefüllt und überwachsen werden, sodass spannungsfreie Quantenpunkte mit ausgezeichneter Symmetrie und geringer Feinstrukturaufspaltung entstehen. In dieser Arbeit wurde diese Methode auf das InP/In(x)Al(1-x)As/In(y)Ga(1-y)As Materialsystem übertragen, um die Emission der Quantenpunkte in die optischen Telekom-Bänder zu verschieben. Die Proben wurden mittels Molekularstrahlepitaxie hergestellt und mit Rasterkraftmikroskopie, Rasterelektronenmikroskopie, hochauflösender Röntgenbeugung und Photolumineszenz-Spektroskopie charakterisiert. Die Lochbildung auf InP-gitterangepassten In(0.52)Al(0.48)As-Schichten wurde optimiert, indem der Einfluss von Temperatur, Arsenfluss, Materialfluss, Abscheidungsmenge, Ätzzeit und Tropfenzusammensetzung untersucht wurde. Die Löcher wurden anschließend mit In(y)Ga(1-y)As gefüllt und mit In(0.52)Al(0.48)As überwachsen, sodass Quantenpunkte mit bis zu 1.55 µm Emission entstanden. Abschließend wurde der Prozess zudem auf In(x)Al(1-x)As-Schichten, die auf In(y)Ga(1-y)As/GaAs-metamorphen Pufferschichten gewachsen wurden, ausgeweitet.
AU  - Deutsch, Dennis
CY  - Paderborn
DO  - 10.17619/UNIPB/1-2570
DP  - Universität Paderborn
LA  - eng
N1  - Tag der Verteidigung: 20.05.2026
N1  - Universität Paderborn, Dissertation, 2026
PB  - Veröffentlichungen der Universität
PY  - 2026
SP  - 1 Online-Ressource (xvii, 137 Seiten) : Diagramme
T2  - Department Physik
TI  - Adaptation of local droplet etching for InGaAs/InAlAs quantum dot fabrication towards telecom C-band emission
UR  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:hbz:466:2-58067
Y2  - 2026-06-13T13:17:46
ER  -