3 Titel in Besondere Sammlungen → Veröffentlichungen der Universität → Fakultät für Elektrotechnik, Informatik und Mathematik → Institut für Elektrotechnik und Informationstechnik 1
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Herstellung von Vertikalrandstrukturen für Leistungshalbleiterbauelemente mit Hilfe von nasschemischen anisotropen Siliziumätzprozessen
Elektronische Ressource, Paderborn, 2018