TY  - THES
AU  - Kharchenko, Alexander
DA  - 2003
DP  - Universität Paderborn
KW  - Röntgendiffraktometer
KW  - In situ
KW  - Verbindungshalbleiter
KW  - Epitaxieschicht
KW  - MOCVD-Verfahren
LA  - eng
N1  - Paderborn, Univ., Diss., 2003
PB  - Veröffentlichungen der Universität
PY  - 2003
T2  - Department Physik
TI  - A new X-ray diffractometer for the online monitoring of epitaxial processes
UR  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:hbz:466-20030101154
Y2  - 2025-04-21T14:29:11
ER  -