TY  - THES
AU  - Sasse, Philipp Wilhelm
DA  - 2002
DP  - Universität Paderborn
KW  - Rotationssensor
KW  - Entwurf
KW  - Mikromechanik
KW  - Oberflächenmontage
KW  - CMOS
KW  - Siliciumbauelement
LA  - ger
N1  - Paderborn, Univ., Diss., 2002
PB  - Veröffentlichungen der Universität
PY  - 2002
T2  - Institut für Elektrotechnik und Informationstechnik
TI  - Entwurf eines Rotationssensors in dreischichtiger, CMOS-kompatibler Silizium-Oberflächen-Mikromechanik
UR  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:hbz:466-20020101255
Y2  - 2026-01-21T16:35:16
ER  -