TY  - THES
AU  - Tamim, Ahmed
DA  - 2007
DP  - Universität Paderborn
LA  - eng
N1  - Paderborn, Univ., Diss., 2007
PB  - Veröffentlichungen der Universität
PY  - 2007
T2  - Institut für Elektrotechnik und Informationstechnik
TI  - Low pressure chemical vapor deposition of silicon nitride and silicon oxynitride layers and their application in optical waveguide based chemical sensors
UR  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:hbz:466-2007091835
Y2  - 2026-01-13T07:04:44
ER  -