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Ruth, Marcel: Photonische Resonatoren aus Zinkoxid-basierten Heterostrukturen. 2014
Inhalt
Einleitung
Physikalische Grundlagen
Materialsystem Zinkoxid
Kristallaufbau
Epitaxie und Heterosysteme
Gitterfehler
Niedrigdimensionale Elektronenysteme in Halbleitern
Lichtpropagation innerhalb Materie
Mikrodisk-Resonatoren
Photonische Kristall-Resonatoren
Kopplung zwischen Resonator und Emitter
Elektronenmikroskopie
Elektronenbeugung
Beugung zurückgestreuter Elektronen (EBSD)
Beugung hochenergetischer Elektronen (RHEED)
Hochauflösende Röntgenbeugung (HR-XRD)
Raster-Kraft-Mikroskopie (AFM)
Wachstum von ZnO auf Silizium-basierten Substraten
Molekularstrahlepitaxie
Wachstum von ZnO auf Silizium
Präparation und Anpassung an das Substrat
Epitaxie auf Siliziumsubstraten
Kornwachstum durch thermisch angeregte Diffusion
Wachstum von ZnO auf Siliziumdioxid
Ladungsträgerlokalisierung in ZnO-Nanostrukturen
ZnO-Quantendrähte
Bandstruktur an der ZnO-Silizium-Grenzschicht
Herstellung von ZnO-Quantendrähten in V-Gräben
Ergebnisse und Diskussion
Vergleich mit Computersimulationen
Ternäre ZnO-basierte Quantenfilme
Wachstum eines ZnO-Multi-Quantenfilmes
Photonische Resonatoren mit ZnO
Mikrodisks
Herstellung von SiO2-Mikrodisks mit aktiver ZnO-Schicht
Ergebnisse und Diskussion
Vergleich mit Simulationen
Thermische Behandlung der Resonatoren
Photonische Kristalle
Herstellung photonischer Kristalle mit aktiver ZnO-Schicht
Ergebnisse und Diskussion
Vergleich mit Simulationen
Zusammenfassung und Ausblick
Anhang
Literaturverzeichnis
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