Die Entwicklung piezoelektrischer Trägheitsmotoren basiert derzeit auf Erfahrungswissen und Prototypenbau. Es existiert kein allgemeines Modell und keine Methodik für die systematische Entwicklung dieser Motoren. In diesem Beitrag stellen wir einen Ansatz zur Entwicklung einer solchen Methodik und den von uns aufgebauten Versuchsmotor vor. Der Motor ist modular aufgebaut; er besteht im Wesentlichen aus einer piezoelektrischen Antriebseinheit, einem Antriebsstab und dem zu bewegenden Schlitten. Eine wesentliche Aufgabe bei der modellbasierten Entwicklung von Trägheitsmotoren ist die hinreichende Beschreibung des dynamischen Verhaltens der Antriebseinheit. Um ein geeignetes Modell zu finden, bzw. um nachzuweisen, dass einfache parametrische Modelle genügen, wird die Antriebseinheit des Motors detailliert untersucht. Es zeigt sich, dass der derzeitige Aufbau eine Reihe von Nachteilen aufweist, die durch eine teilweise Neukonstruktion der Antriebseinheit beseitigt oder zumindest entschärft werden können.