TY  - THES
A3  - Hilleringmann, Ulrich
A3  - Zrenner, Artur
AB  - Integrierte Wellenleiterstrukturen sind elementare Bestandteile der Optik. Sie bilden zusammen mit Mikroresonatoren die Basis für eine Vielzahl von möglichen Anwendungen. Dabei lassen sich die Strukturen aus verschiedenen Materialsystemen herstellen. Materialien basierend auf Silizium haben den Vorteil, dass für die Herstellung keine aufwendigen und kostenintensive Prozesse eingeführt werden müssen. Es kann auf die bereits existierende Technologie der Halbleiterfertigungsprozesse zurückgegriffen werden. Eine der viel versprechenden Materialien der Silizium-Technologie ist Siliziumoxinitrid. Zusammen mit Siliziumdioxid bildet Siliziumoxinitrid ein Schichtsystem, das über einen ausreichend hohen Brechungsindexunterschied verfügt, um integrierte Strukturen wie Koppler, Wellenleiter oder Resonatoren zu realisieren. Inhalt dieser Arbeit ist es, ein Konzept zu demonstrieren, wie mit dem Materialsystem aus Siliziumdioxid und Siliziumoxinitrid ein kompaktes Lasersystem auf einem Silizium-Chip entwickelt werden kann.
AU  - Frers, Torsten
DA  - 2015
DP  - Universität Paderborn
LA  - ger
N1  - Tag der Verteidigung: 02.03.2015
N1  - Paderborn, Univ., Diss., 2015
PB  - Veröffentlichungen der Universität
PY  - 2015
T2  - Fakultät für Elektrotechnik, Informatik und Mathematik
TI  - Herstellung optischer SiON-Komponenten für Laserstrukturen auf Silizium
UR  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:hbz:466:2-15749
Y2  - 2026-01-19T12:03:18
ER  -