TY  - THES
A3  - Lindner, Jörg
A3  - Lischka, Klaus
AB  - Die vorliegende Arbeit befasst sich mit der Generierung von Defekten auf der Waferkante für die Analyse von Kanteninspektionsgeräten. Das Ziel war die Generierung von „standardisierten“ Defekten/Wafern, die eine Analyse/Bewertung von Kanteninspektionsgeräten ermöglicht. Im Vordergrund steht die Methode mittels Nanosekunden-Laserablation. Weitere Methoden und deren Bewertung sind am Ende der Arbeit aufgeführt.
AU  - Heß, Felix
DA  - 2012
DP  - Universität Paderborn
LA  - ger
N1  - Tag der Verteidigung: 13.09.2012
N1  - Paderborn, Univ., Diss., 2012
PB  - Veröffentlichungen der Universität
PY  - 2012
T2  - Fakultät für Naturwissenschaften
TI  - Generierung von Defekten auf der Waferkante mittels Nanosekunden-Laserablation für die Analyse von Messsystemen
UR  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:hbz:466:2-9797
Y2  - 2026-01-16T20:27:03
ER  -