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Titelaufnahme
Titel
Low pressure chemical vapor deposition of silicon nitride and silicon oxynitride layers and their application in optical waveguide based chemical sensors / Ahmed Tamim
Autor
Tamim, Ahmed
Erschienen
2007
Hochschulschrift
Paderborn, Univ., Diss., 2007
Sprache
Englisch
Dokumenttyp
Dissertation
URN
urn:nbn:de:hbz:466-2007091835
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Nachweis
Universitätsbibliothek Paderborn
IIIF
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Low pressure chemical vapor deposition of silicon nitride and silicon oxynitride layers and their application in optical waveguide based chemical sensors
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