Entwurf eines Rotationssensors in dreischichtiger, CMOS-kompatibler Silizium-Oberflächen-Mikromechanik / von Philipp Wilhelm Sasse. 2002
Inhalt
- 1 Einleitung
- 2 Stand der Technik
- 2.1 Detektionskonzept
- 2.2 Prozeßtechnik der Oberflächenmikromechanik
- 2.3 Antriebsprinzip
- 2.4 Meßprinzip
- 3 Problemanalyse für das Sensorkonzept
- 4 Entwicklung des mechanischen Designs
- 4.1 Strategien für die Maximierung von Einzelfaktoren
- 4.1.1 Antriebsmoment
- 4.1.2 Driveschwingung
- 4.1.3 Senseschwingung
- 4.1.4 Detektionsladung
- 4.1.5 Verhältnis von Sense- zu Driveresonanzfrequenz
- 4.2 Dimensionierung des mechanischen Designs
- 5 Regelungstechnisches Konzept des Sensors
- 6 Zusammenfassung
- 7 Ausblick
- A Anhang