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Titelaufnahme
Titel
Entwurf eines Rotationssensors in dreischichtiger, CMOS-kompatibler Silizium-Oberflächen-Mikromechanik / von Philipp Wilhelm Sasse
Autor
Sasse, Philipp Wilhelm
Erschienen
2002
Hochschulschrift
Paderborn, Univ., Diss., 2002
Sprache
Deutsch
Dokumenttyp
Dissertation
Schlagwörter (GND)
Rotationssensor
/
Entwurf
/
Mikromechanik
/
Oberflächenmontage
/
CMOS
/
Siliciumbauelement
URN
urn:nbn:de:hbz:466-20020101255
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Nachweis
Universitätsbibliothek Paderborn
IIIF
IIIF-Manifest
Dateien
Entwurf eines Rotationssensors in dreischichtiger, CMOS-kompatibler Silizium-Oberflächen-Mikromechanik
[
1.19 mb
]
/
zusfasng
[
24.4 kb
]
/
abstract
[
21.69 kb
]
/
RIS
Klassifikation
Besondere Sammlungen
→
Veröffentlichungen der Universität
→
Fakultät für Elektrotechnik, Informatik und Mathematik
→
Institut für Elektrotechnik und Informationstechnik
Klassifikation (DDC)
→
Informatik, Informationswissenschaft, allgemeine Werke
→
Informatik, Wissen, Systeme
→
Datenverarbeitung; Informatik
Inhalt
Inhalt des Werkes
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