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Titel
Entwurf eines Rotationssensors in dreischichtiger, CMOS-kompatibler Silizium-Oberflächen-Mikromechanik
/ von Philipp Wilhelm Sasse
Autor
Sasse, Philipp Wilhelm
Erschienen
2002
Hochschulschrift
Paderborn, Univ., Diss., 2002
Sprache
Deutsch
Dokumenttyp
Dissertation
Schlagwörter (GND)
Rotationssensor
/
Entwurf
/
Mikromechanik
/
Oberflächenmontage
/
CMOS
/
Siliciumbauelement
URN
urn:nbn:de:hbz:466-20020101255
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Entwurf eines Rotationssensors in dreischichtiger, CMOS-kompatibler Silizium-Oberflächen-Mikromechanik
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Fakultät für Elektrotechnik, Informatik und Mathematik
Institut für Elektrotechnik und Informationstechnik
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Informatik, Informationswissenschaft, allgemeine Werke
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