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Bibliographic Metadata
Title
Entwurf eines Rotationssensors in dreischichtiger, CMOS-kompatibler Silizium-Oberflächen-Mikromechanik / von Philipp Wilhelm Sasse
Author
Sasse, Philipp Wilhelm
Published
2002
Institutional Note
Paderborn, Univ., Diss., 2002
Language
German
Document Types
Dissertation (PhD)
Keywords (GND)
Rotationssensor
/
Entwurf
/
Mikromechanik
/
Oberflächenmontage
/
CMOS
/
Siliciumbauelement
URN
urn:nbn:de:hbz:466-20020101255
Files
Entwurf eines Rotationssensors in dreischichtiger, CMOS-kompatibler Silizium-Oberflächen-Mikromechanik
[1.19 mb]
zusfasng
[24.4 kb]
abstract
[21.69 kb]
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→
Informatik, Informationswissenschaft, allgemeine Werke
→
Informatik, Wissen, Systeme
→
Datenverarbeitung; Informatik
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