1 Title in Klassifikation (DDC) → Naturwissenschaften und Mathematik → Chemie → Chemie und zugeordnete Wissenschaften 1
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Herstellung von Vertikalrandstrukturen für Leistungshalbleiterbauelemente mit Hilfe von nasschemischen anisotropen Siliziumätzprozessen
Elektronische Ressource, Paderborn, 2018