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Titel
A new X-ray diffractometer for the online monitoring of epitaxial processes
/ von Alexander Kharchenko
Autor
Kharchenko, Alexander
Erschienen
2003
Hochschulschrift
Paderborn, Univ., Diss., 2003
Sprache
Englisch
Dokumenttyp
Dissertation
Schlagwörter (GND)
Röntgendiffraktometer
/
In situ
/
Verbindungshalbleiter
/
Epitaxieschicht
/
MOCVD-Verfahren
URN
urn:nbn:de:hbz:466-20030101154
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Nachweis
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IIIF
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A new X-ray diffractometer for the online monitoring of epitaxial processes
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Fakultät für Naturwissenschaften
Department Physik
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Physik
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