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Bibliographic Metadata

Title
Low pressure chemical vapor deposition of silicon nitride and silicon oxynitride layers and their application in optical waveguide based chemical sensors / Ahmed Tamim
Author
Tamim, Ahmed
Published
2007
Institutional Note
Paderborn, Univ., Diss., 2007
Language
English
Document Types
Dissertation (PhD)
URN
urn:nbn:de:hbz:466-2007091835

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Universitätsbibliothek Paderborn
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Low pressure chemical vapor deposition of silicon nitride and silicon oxynitride layers and their application in optical waveguide based chemical sensors [pdf 3.32 mb]zusfasng [pdf 15.45 kb]abstract [pdf 15.3 kb] RIS

Classification

Besondere Sammlungen → Veröffentlichungen der Universität → Fakultät für Elektrotechnik, Informatik und Mathematik → Institut für Elektrotechnik und Informationstechnik
Klassifikation (DDC) → Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften → Technik → Technik, Technologie
Klassifikation (DDC) → Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften → Ingenieurwissenschaften → Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten

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