Titelaufnahme

• Titel
  Low pressure chemical vapor deposition of silicon nitride and silicon oxynitride layers and their application in optical waveguide based chemical sensors / Ahmed Tamim
• Autor
  Tamim, Ahmed
• Erschienen
  2007
• Hochschulschrift
  Paderborn, Univ., Diss., 2007
• Sprache
  Englisch
• Dokumenttyp
  Dissertation
• URN
  urn:nbn:de:hbz:466-2007091835